清洗是經(jīng)過化學(xué)或(及)物理的方法將工件上的油污、銹跡、塵土等去除潔凈，確保工件取得較好的涂層結(jié)合力和出產(chǎn)的順利進(jìn)行。清洗是PVD涂層前必不可少的一道工序，也是PVD涂層出產(chǎn)中最重要的工藝，清洗出了問題，涂層出產(chǎn)不得不推遲、涂層進(jìn)程可能間斷、或涂層結(jié)合力出現(xiàn)問題而導(dǎo)致客戶投訴和補(bǔ)償，特別是在涂層設(shè)備的技能才干不高的情況下，清洗出了問題，更容易發(fā)作上述風(fēng)險(xiǎn)。

  有四個(gè)要素影響著清洗的質(zhì)量，分別為：清洗時(shí)間、化學(xué)藥劑、機(jī)械作用以及清洗液溫度，這四個(gè)要素之間也相互影響，一個(gè)要素的削弱，可以經(jīng)過增強(qiáng)別的三個(gè)要素的作用來彌補(bǔ)，反之亦然。在這四個(gè)要素中，清洗時(shí)間的最小化也是尋求的目標(biāo)，這樣可以前進(jìn)清洗的功率．縮短出產(chǎn)時(shí)間和交貨周期。

  清洗首要方法和進(jìn)程應(yīng)包括：化學(xué)藥劑噴淋、化學(xué)藥劑浸泡與超聲波清洗、漂洗、烘干。

  1)化學(xué)藥劑噴淋

  噴淋關(guān)于清洗來說十分有用，它可以清除去工件上絕大部分油污及污染物。特別對(duì)有孔工件來說，更加有用，噴淋到工件上的化學(xué)藥劑會(huì)流入孔中或化學(xué)藥劑被直接噴進(jìn)孔中對(duì)孔內(nèi)壁進(jìn)行沖刷。所以清洗裝卡時(shí)，必定要讓工件都能被噴淋到。別的，假定噴淋到工件上的化學(xué)藥劑不能及時(shí)立刻流走，會(huì)阻止新鮮的化學(xué)藥劑繼續(xù)清洗工件，且在后面的烘干進(jìn)程中也不易烘干，所以裝卡時(shí)，要確保流到工件上的藥劑能自然流走。

  2)化學(xué)藥劑浸泡與超聲波清洗

  超聲波是一種人所感覺不到的聲波，一同也是一種機(jī)械波，它在液體中會(huì)構(gòu)成高壓區(qū)和低壓區(qū)(壓力低于大氣壓)，超聲波在低壓區(qū)發(fā)作幾百萬個(gè)氣穴效應(yīng)氣泡，這些氣泡逐漸增大，并在大到必定時(shí)突然向內(nèi)破裂，釋放出巨大的能量而撞擊工件，從而對(duì)工件外表起到“微型刷子”的清潔作用，這種“微刷”的頻率很高，用于清洗的超聲波頻率在20000到50000赫茲之間。

  因?yàn)槌暡ㄔ趥鬟f進(jìn)程中會(huì)發(fā)作低壓區(qū)和高壓區(qū)，而且氣穴現(xiàn)象只在低壓區(qū)發(fā)作。所以被清洗工件在超聲波中需求上下振蕩，使工件上的每個(gè)區(qū)域都經(jīng)過低壓區(qū)以取得“微型刷子”的清潔作用。超聲波在水中的傳遞速度為1500m/s，假定超聲渡的頻率為30000Hz，則所運(yùn)用的超聲渡波長(zhǎng)

  λ=速度／頻率=1500／30000=0.05m=5cm

  所以，如運(yùn)用30000Hz的超聲波，工件的上下振蕩間隔應(yīng)不小于5厘米．關(guān)于其他頻率的超聲波．震動(dòng)間隔可以同理計(jì)算出來。在樸實(shí)的化學(xué)藥劑浸泡清洗中，清洗溶液首要溶解工件最表層的污染物，并逐漸向污染層內(nèi)部滲透溶解，在這個(gè)進(jìn)程中，在工件表層會(huì)逐漸構(gòu)成一層溶解豐滿層．這層豐滿層將新鮮的化學(xué)清洗液與深層的污染物阻隔，阻止清洗液對(duì)深層污染物的繼續(xù)溶解，假定這層豐滿層不能被損壞去掉，清潔就間斷了。關(guān)于比較臟的工件，樸實(shí)的浸泡清洗方法很難將工件徹底清潔潔凈。運(yùn)用超聲波的“微型刷子”的作用就可以損壞掉表層的溶解豐滿層，新的化學(xué)藥劑到達(dá)較深的污染層繼續(xù)溶解，超聲波接著繼續(xù)損壞掉新構(gòu)成的溶解豐滿層，如此循環(huán)，清潔不斷進(jìn)行下去，直到工件被清潔潔凈。

  3)漂洗

  漂洗是為了將殘留在工件上的清洗液或其他臟物徹底清理潔凈，使工件在烘干之前更加潔凈。工件上的殘留物在烘干后將很難清理潔凈。在工業(yè)領(lǐng)域中．一般運(yùn)用去離子水來進(jìn)行漂洗，用去離子水而不用自來水進(jìn)行漂洗．可避免自來水中的雜質(zhì)及污染物殘留在工件上?？墒?，去離子水的侵蝕性強(qiáng)，會(huì)對(duì)工件造成腐蝕。所以，必須在去離子水中參加必定量的防銹劑，才干用來漂洗工件．以避免工件在漂洗及烘干進(jìn)程中被銹蝕。

  4)烘干

  清洗完的工件一般放入烤箱中烘干，烤箱包括箱體、排水管路、加熱系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及溫度操控系統(tǒng)。永的歡娛、汽化溫度為100℃，因此烘烤溫度必須大于100℃，最好在110℃～130℃之間，這樣既可以將水分快速蒸發(fā)烘干工件．又不至于烘干后，工件溫度太高而需求很長(zhǎng)時(shí)間冷卻。

  文章源自：江門超聲波清洗機(jī)                                         http://www.kpzfcsb.com